PROPIEDADES ESTRUCTURALES Y MORFOLOGICAS DE PELICULAS DELGADAS DE BI(X)SI(Y)O(Z) PRODUCIDAS POR LA TECNICA DE UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING

Autores/as

  • Giovany Orozco Hernández Grupo AFIS Departamento de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica Universidad Nacional de Colombia Bogotá D.C.
  • Jhon Jairo Olaya Flórez Grupo AFIS Departamento de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica Universidad Nacional de Colombia

DOI:

https://doi.org/10.5281/zenodo.10420316

Resumen

Se produjeron películas delgadas de bismuto-silicio-oxigeno por medio de un sistema de deposición física de vapores asistido por plasma y con un magnetrón desbalanceado (UBM por sus siglas en inglés) con atmósfera reactiva de argón y oxígeno, y a temperatura ambiente. Las películas mostraron alta homogeneidad y espesor constante  de  aproximadamente  200  nm.  Las  propiedades  estructurales  de  las  películas  fueron  analizadas mediante difracción de rayos X en donde se evidencia la alta presencia de bismuto y óxido de bismuto. En cuanto a lo que tiene que ver con las propiedades morfológicas se hicieron medidas de microscopía con-focal donde se evidencia la buena homogeneidad de las películas sobre la superficie y la baja rugosidad promedio que a su vez indica buena uniformidad del espesor.

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Publicado

2015-01-28

Cómo citar

Orozco Hernández, G., & Olaya Flórez, J. J. (2015). PROPIEDADES ESTRUCTURALES Y MORFOLOGICAS DE PELICULAS DELGADAS DE BI(X)SI(Y)O(Z) PRODUCIDAS POR LA TECNICA DE UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING. Revista Latinoamericana De Metalurgia Y Materiales, 237–241. https://doi.org/10.5281/zenodo.10420316

Número

Sección

Artí­culos Regulares